小電流真空アーク金属イオンの価数分布とエネルギー分布

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-036

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Charge State and Energy Distribution of Metal Ions Generated From Low Current Vacuum Arc

著者名: 鶴田 浩一(茨城大学),城戸 寛子(茨城大学),田中 徳幸(茨城大学),藤巻 到(茨城大学),柳平 丈志(茨城大学)

著者名(英語): koichi Tsuruta(Ibaraki University),hiroko kido(Ibaraki University),Noriyuki Tanaka(Ibaraki University),Itaru Fujimaki(Ibaraki University),Takeshi Yanagidaira(Ibaraki University)

キーワード: 真空アーク|金属イオン|価数分布|イオンのエネルギー分布|直流アーク

要約(日本語): 真空アークで発生する金属イオンの価数分布とエネルギー分布は、真空アークの不安定現象や金属イオン源への応用に関連する重要なパラメータである。本研究では、亜鉛電極を用いた小電流直流真空アークを対象として、亜鉛同位体イオンの発生割合、各同位体イオンの価数分布及びエネルギー分布を測定した。その結果、亜鉛の同位体の構成比にほぼ比例して同位体イオンが発生し、価数は１価の発生割合が高いことがわかった。また１価イオンのエネルギーのピーク値は１０ｅＶ程度であり、アークの維持電圧とほぼ等しいことがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 93 Kバイト