大電流真空アークの残留プラズマの計測II

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-041

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Measurement of Residual Plasma of a High-Current Vacuum Arc 2

著者名: 新井 一由(日本工業大学),森宮 脩(日本工業大学),丹羽 芳充(東芝)

著者名(英語): Kazuyoshi Arai(Nippon Institute of Technology),Osami Morimiya(Nippon Institute of Technology),Niwa Yoshimitsu(TOSHIBA)

キーワード: 真空アーク|残留プラズマ|プローブ

要約(日本語): 　希薄プラズマの絶縁破壊現象は、真空遮断器，ガスレーザ，プラズマプロセシング装置の極限性能を支配する基本的な現象である。真空遮断器の零点現象の研究は残留電流の計測に基づくものが多く、一部で電流零点近傍の中性蒸気密度をＬＩＦ法で計測する例が見られる。　本研究では、キャパシターバンクによる電流をトリガー付主電極に流し、そのアークプラズマを静電プローブで測定する。放電電流が零になったとき、主電極間に残留するプラズマの密度及び電子温度を測定した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 85 Kバイト