C5F8中の電子輸送係数測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-043

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Measurement of Electron Transport Coefficients in octafluorocyclopentene

著者名: 後藤征一郎 (北見工業大学),吉田 公策(北見工業大学),大内 均(北見工業大学)

著者名(英語): seiitiro goto(Kitami Institude of Technology),kosaku yoshida(Kitami Institude of Technology),hitoshi ohuchi(Kitami Institude of Technology)

キーワード: C5F8|大気温暖化|定常タウンゼント法|ATS法|電子輸送係数

要約(日本語): 　半導体製造におけるプラズマプロセス工程において，大気温暖化係数（ＧＷＰ）が低く，大気中寿命の短いガスが，地球温暖化防止の観点から求められており，その一つとしてＣ₅Ｆ₈（octafluorocyclopentene）の使用が検討されている。今回，ＳＳＴ(Steady State Townsend)法及びＡＴＳ(Arrival Time Spectra)法を用いて，Ｃ₅Ｆ₈中の電離係数，ドリフト速度，縦方向拡散係数，特性

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 102 Kバイト