CHF3気体中の電子輸送係数の測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-046

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): A Measurement of Electron Transport Coefficients in CHF₃

著者名: 三谷 正宏(慶応義塾大学),中村 義春(慶応義塾大学)

著者名(英語): Masahiro Mitani(Keio University),Yosiharu Nakamura(Keio University)

キーワード: CHF3|電子衝突断面積|スウォーム法|電子輸送係数|電子ドリフト速度|縦方向拡散係数

要約(日本語): 半導体エッチングに用いられるCHF₃の断面積をスウォーム法によって決定するために、純粋CHF₃中(6-600[Td])における移動速度W、縦拡散係数ND_Lおよび実効電離係数(α-η)/Nの測定を、二重シャッタドリフトチューブを用いて行った。測定結果は、移動速度についてはUrquijoらの測定、Wangらの測定の結果とよく一致した。縦拡散係数は過去に測定例は見つからない。また、Kushnerらの断面積セットを用いたモンテカルロシミュレーション

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 99 Kバイト