純粋c-C4F8およびc-C4F8/Ar混合気体中における電子輸送係数の測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-047

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): A measurement of electron transport coefficients in pure c-C₄F₈ and c-C₄F₈/Ar mixtures

著者名: 山地 正洋(慶応義塾大学),中村 義春(慶応義塾大学)

著者名(英語): Masahiro Yamaji(Keio University),Yoshiharu Nakamura(Keio University)

キーワード: パーフルオロシクロブタン|電子衝突断面積|電子輸送係数|移動速度|縦方向拡散係数|実効電離係数

要約(日本語): 移動速度W、縦方向拡散係数ND_L、実効電離係数（α?η）/Nを純粋c-C₄F₈(200-1000[Td])、0.468%(3.5-100[Td])、および4.91%c-C₄F₈/Ar(5-10[Td])混合気体中において測定した。純粋c-C₄F₈の移動速度はNaiduらの測定値と比較して高E/Nで10%低い。一方でWenらの値は600[Td]以下では一致

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 90 Kバイト