三次元拡散モデルにおける窒素準安定励起分子の管壁での反射率の算出

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-054

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Computation of Metastable Molecule's Reflectance at Wall Surface by Using 3D Diffusion Model

著者名: 安達 啓(武蔵工業大学),湯本 雅恵(武蔵工業大学),堺 孝夫(武蔵工業大学)

著者名(英語): Kei Adachi(Musashi Institute of Technology),Motoshige Yumoto(Musashi Institute of Technology),Takao Sakai(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 反射率|実効寿命|準安定励起分子|シミュレーション|窒素|拡散

要約(日本語): 低気圧中の放電を利用して表面処理を行う場合、処理効率を考えたり、シミュレーションを行う上で活性種の境界での反射率Rが重要になってくる。そこで今回は計算と実験によるRの算出方法を提案する。活性種の実効寿命τ‐気圧p特性において、気圧の高い領域ではRはτに影響を与えない。この領域で拡散係数Dと衝突脱励起反応速度定数ｋを実験値とフィットを行い決定する。次にRがτに影響を与える気圧の低い領域で、先程求めたDとｋを用い実験値とフィットを行いRを算出する。今回は高気圧側でDとｋを決定しようと試みた。その結果ｋ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 85 Kバイト