Ｈｅ-Ｘｅ混合ガスパルス放電のプローブ測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-060

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Probe Measurement of Pulsed Gas Discharge in He-Xe Mixtures

著者名: 小野 賢弘(日本工業大学),森宮 脩(日本工業大学),鈴木 節雄(東芝),野田 悦夫(東芝)

著者名(英語): Yoshihiro Ono(Nippon Institute of Technology),Osami Morimiya(Nippon Institute of Technology),Setuo Suzuki(TOSHIBA Corporation),Etuo Noda(TOSHIBA Corporation)

要約(日本語): 　放電プラズマは様々な分野で応用がなされている。特に大出力ＶＵＶ光源の開発という点から予測すると、Ｃ結合ＲＦ放電、マイクロ波放電方式などが優れているが、本研究では低コストのパルスグロー放電を用いて比較的新しい応用分野と考えられている真空紫外光源の基礎的な解明を目的とし、プローブ測定による電子温度、電子密度の時間進展特性を調査した。さらに、ボルツマン方程式によるシミュレーションの結果との比較を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 86 Kバイト