プラズマカソードを用いたエキシマレーザ用放電電極長寿命化の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-099

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Examination about Long Life Time of Electric Discharge Electrode for Excimer Laser using Plasma Cathode

著者名: 井手 義章(佐賀大学),林 信哉(佐賀大学),佐藤三郎 (佐賀大学),山部 長兵衛(佐賀大学)

著者名(英語): Yoshiaki Ide(Saga University),Nobuya Hayashi(Saga University),Saburoh Satoh(Saga University),Chobei Yamabe(Saga University)

キーワード: 集中放電|プラズマカソード|コロナ放電

要約(日本語): ArFエキシマレーザ(193nm)の放電電極寿命は、集中放電やF2の腐食などにより5kHzで24時間稼動の場合、約3ヶ月程度と短い。本研究では、電極の長寿命化を実現するためにコロナ予備電離方式プラズマカソードを提案する。これは、コロナ予備電離用電極を従来の金属電極上に設置したものである。コロナ放電により、初期電子が供給されるため、放電を維持しやすく金属電極におけるイオンによるスパッタを低減することができる。今回は、コロナ予備電離用誘電体の形状に対する放電状態を比較するために、He(98%)-Ar(2%)ガ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 92 Kバイト