電子密度の時分解測定へのプラズマ吸収プローブの応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-189

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Application of Plasma Absorption Probe to Time-Resolved Measurement of Electron Density

著者名: 大畑 光弘(名古屋大学),中村 圭二(中部大学),菅井 秀郎(名古屋大学)

著者名(英語): Mitsuhiro Ohata(Nagoya University),Keiji Nakamura(Chubu University),Hideo Sugai(Nagoya University)

キーワード: プラズマ吸収プローブ|電子密度|時分解測定

要約(日本語): これまではプラズマ吸収プローブ（PAP）を定常状態のプラズマにしか適用してこなかった。今回は時間的に変化するプラズマ中の電子密度を測定する方法とその時分解能について検討したので報告する。まず、アルゴンプラズマをパルス放電し、PAPを用いてTime-Gate測定した。パワー吸収のピークが、放電OFF後に低い周波数に移っており、アフターグローで時間とともに電子密度が減少しているのが鮮明に測定できた。つぎに、フルオロカーボンプラズマにおいて負イオンからのレーザー光脱離による電子密度の変化を、PAPを用いてTim

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 74 Kバイト