プラズマ吸収プローブを用いた有磁場プラズマの電子密度測定（2）

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-190

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Electron Density Measurements of Magnetized Plasma with Plasma Absorption Prove (2)

著者名: 糟谷 憲昭(中部大学),中村 圭二(中部大学),豊田 直樹(ニッシン),南光正平 (ニッシン),菅井 秀郎(名古屋大学)

著者名(英語): Noriaki Kasuya(Chubu University),Keiji Nakamura(Chubu University),Naoki Toyoda(Nissin),Syohei Nanko(Nissin),Hideo Sugai(Nagoya University)

キーワード: プラズマ吸収プローブ|表面波共鳴周波数|ラングミュアプローブ|電子密度|ネットワークアナライザ|磁場

要約(日本語): 10mT程度までの磁場を印加した反応性プラズマの電子密度をプラズマ吸収プローブを用いて測定を試み、パワー吸収スペクトルや分散関係に及ぼす磁場の影響などを調べた。プラズマ吸収プローブでは同軸ケーブルに接続したネットワークアナライザから高周波信号を印加し、周波数掃引しながらアンテナでの反射係数の変化を測定することにより、パワー吸収スペクトルを得た。ラングミュアプローブの結果や分散関係などとの比較により、本実験条件では無磁場の時と同様な方法により電子密度を求めることができることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 107 Kバイト