無磁場プラズマの非等方性エネルギー分布関数の観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-193

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Observation of Anisotropic Electron Energy Distribution Function in Non-magnetized Plasma

著者名: 上沼 穣(名古屋大学),石島 達夫(名古屋大学),菅井 秀郎(名古屋大学)

著者名(英語): Minoru Uenuma(Nagoya university),Tatsuto Ishijima(Nagoya university),Hideo Sugai(Nagoya university)

キーワード: 電子エネルギー分布関数

要約(日本語): 放電プラズマ中での電子エネルギー分布関数は単一マクスウェル分布で等方的であると近似されることが多い。しかし、非弾性衝突の平均自由行程がチャンバーのディメンジョンよりも長いような状況では、壁における電子の損失がEEDFの非マクスウェル化と非等方性をもたらすと予想される。今回このようなEEDFの非等方性を観測することを試みたので報告する。測定したEEPFにおいて8eV以上の高いエネルギーで勾配が急になっていることがわかる。これは高いエネルギーを持った電子がシースポテンシャル障壁を乗り越え壁へ損失していることを

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 193 Kバイト