UHF波励起表面波プラズマの石英窓近傍における高エネルギー電子の観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-194

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Observation of High Energy Electrons near Quartz Window in theSurface Wave Plasma Excited by UHF Waves

著者名: 丹羽 隆彦(名古屋大学),永津 雅章(名古屋大学),菅井 秀郎(名古屋大学)

著者名(英語): Takahiko Niwa(Nagoya University),Masaaki Nagatsu(Nagoya University),Hideo Sugai(Nagoya University)

キーワード: 表面波プラズマ|UHFプラズマ|高エネルギー電子|表面波電界|電子エネルギー分布関数

要約(日本語): 915MHz表面波プラズマの石英板近傍で観測されるUHF波電界とプラズマ生成との関連を調べるため、Druyvesteyn法を用いて行った電子エネルギー確率関数(EEPF)の空間分布測定の測定を行った。測定結果は高エネルギー電子が石英近傍に存在することを示しており、表面波電界が高エネルギー電子生成に強く関わっている可能性を示している。今回の実験では、特にカットオフ近傍でのEEPFの空間的振る舞いをさらに詳しく調べるため、低密度プラズマ放電における空間分解計測を試み、高エネルギー電子の空間的な振る舞いを調べた

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 105 Kバイト