高圧力マイクロ波放電で生成されたプラズマボールの電界分布計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-195

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Measurements of Electric Field Distributions in a Plasma Ball Generated by High-Pressure Microwave Discharge

著者名: 牧野 雅哉(名古屋大学),永津 雅章(名古屋大学),丹花 通文(東洋鋼鈑),菅井 秀郎(名古屋大学)

著者名(英語): Masaya Makino(Nagoya University),Masaaki Nagatsu(Nagoya University),Michifumi Tanga(Toyo Kohan Co. Ltd.),Hideo Sugai(Nagoya University)

キーワード: マイクロ波プラズマ|プラズマボール|電界分布|ダイヤモンド膜 |高圧力放電

要約(日本語): 近年、プラズマCVDを用いたダイヤモンド膜のさまざまな分野への応用に向けた研究が精力的に行われている。本研究では2.45GHzマイクロ波を用いたダイヤモンド成膜用プラズマの電界強度分布およびプラズマパラメータ分布との関係を調べ、プラズマ反応容器内に生成されるプラズマボールの生成機構を調べることを目的として実験を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 97 Kバイト