RF放電微粒子プラズマの変動

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-196

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Fluctuation of dust plasma in RF discharge

著者名: 濱 博明(大同工業大学),日置 義明(大同工業大学)

著者名(英語): Hiroaki Hama(Daido Institute of Technology),Yoshiaki Hioki(Daido Institute of Technology)

キーワード: ダストプラズマ|RF放電|グロー放電

要約(日本語): 微粒子を含んだプラズマの研究は、プラズマプロセッシングやプラズマによる各種の処理技術に必須である。我々は、低圧ガス（数Torr）中のRF放電に超微粒子煙が及ぼす影響、効果を実験により研究している。実験は、4cmのガラス管内で行い、数トールのアルゴンガス中でガス中蒸発法で発生させた超微粒子を含むガス流をRF放電領域に導き、放電の変化を観測する。微粒子の導入によって、プラズマ電子温度の上昇が見られると同時に発光の変動が見られる。変動は、空間的にはらせん状及び軸方向変化であり、時間的には数ヘルツから数百ヘルツの

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 301 Kバイト