容量結合型高周波放電に対する2種類の高周波電界の重畳効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-197

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Effects of Applying Two Kinds of R.F. Fields on Capacitively Coupled R.F. Discharges

著者名: 長濱 治男(福井工業大学)

著者名(英語): Haruo Nagahama(Fukui University of Technology)

キーワード: 高周波放電|重畳電界|容量結合プラズマ|重畳効果

要約(日本語): 単一周波数の高周波放電では、ガス圧ｐを決めるとアーク状放電開始電圧の値が定まってしまう。もし、周波数の異なる2種類の高周波電圧を同時に重畳して印加した場合、アーク状放電開始電圧が単独放電の場合に比べて低くなれば、電離度の高い高周波放電を得るという応用面から考えて有効である。このため、低い周波数として1MHzの電圧を、高い周波数として13.5MHzの電圧を用いて、2種類の高周波電圧を同時に重畳して加え、アーク状放電開始電圧の値を実験的に測定した。この結果、低い周波数の電圧に高い周波数の電圧を重畳した場合、低

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 113 Kバイト