平行平板型RFプラズマにおける電極間隔/半径比の効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-198

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Effect of electrode distance/radius ratio on the parallel-plate Radio-Frequency plasma

著者名: 池垣 秀樹(中央大学),田島 伸治郎(中央大学),遠藤 正雄(中央大学),雨宮 宏(科学技術振興事業団)

著者名(英語): Hideki Ikegaki(Chuo-University),Shinnjirou Tajima(Chuo-University),Masao Endo(Chuo-University),Hiroshi Amemiya(JST)

キーワード: 平行平板型ＲＦ放電|プローブ特性|電極の間隔と半径比

要約(日本語): 　現代の工業、産業の分野においてプラズマは不可欠なもので、デポジション等で最適な形態とされる一方、プラズマの均一化、効率上昇等が課題とされている。そのため電子温度等の基礎量を正確に把握し、密度の高いプラズマを作り出す必要がある。現在のデポジション等では電極の間隔と半径の比が１よりも小さいものが多いが、十分プラズマにパワーを供給できないという問題点がある。　本研究ではRFプラズマの等価回路より、電極の半径を一定に保った状態で電極の間隔を変化させた場合の圧力-プラズマパワー特性・プラズマ電流-プラズマ電圧の

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 175 Kバイト