表面波プラズマ装置に関する二流体モデルを用いたシミュレーション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-202

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Simulation for Planar Type Surface Wave Plasma Processing Appartus on two fluid model

著者名: 鳥羽 孝幸(東京大学),板垣 敏文(東京大学),桂井 誠(東京大学)

著者名(英語): Takayuki Toba(Tokyo University),Toshifumi Itagaki(Tokyo University),Makoto Katsurai(Tokyo University)

キーワード: 表面波プラズマ

要約(日本語): The Surface Wave Plasma(SWP) is expected to become one of the processing plasmas of next generation. It have been demonstrated that the planar type SWP processing apparatus can generate high density and uniform plasmas. Our investigation on how plasma is

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 90 Kバイト