誘導プラズマトーチによるＳＦ６分解の生成物評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-203

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Estimation of Products on SF6 Decomposition using Inductively Coupled Plasma Torch.

著者名: 榊原 康史(富士電機総合研究所),虎口信 (富士電機総合研究所)

著者名(英語): Yasushi Sakakibara(Fuji Electric Cororate R&D,Ltd. ),Makoto Toraguchi(Fuji Electric Cororate R&D,Ltd. )

キーワード: ＳＦ６|誘導結合プラズマ|環境的

要約(日本語): プラズマを利用した排ガス処理のひとつとして、ＳＦ６ガスのＩＣＰ（誘導プラズマ）トーチによる分解処理を試みた。分解したＳＦ６は、酸化マグネシウムＭｇＯと反応させ、弗化マグネシウムＭｇＦ２および硫酸マグネシウムＭｇＳＯ４として回収する。 ＳＦ６とＭｇＯの反応実験の結果、ＳＦ６はほぼ完全に分解されるが、ＭｇＯ以外にＳｉ、Ｏ、Ｈとの反応が進行し、それぞれＳｉＦ４、ＳＯＦ２、ＳＯＦ４、ＨＦなどが生成することが解った。Ｓｉの出所はトーチの石英製放電管、ＯとＨは装置の真空リークによる水である。ＭｇＯとの反

原稿種別: 日本語

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