パルス動作ヘリウム誘導結合プラズマの製作と測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-207

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Construction and Measurement of Pulse-Operated Helium Inductively Coupled Plasma

著者名: 薮田 泰伸(東京工業大学),宮原 秀一(東京工業大学),渡辺 正人(東京工業大学),沖野 晃俊(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学)

著者名(英語): Hironobu Yabuta(Tokyo Institute of Technology),Hidekazu Miyahara(Tokyo Institute of Technology),Masato Watanabe(Tokyo Institute of Technology),Akitoshi Okino(Tokyo Institute of Technology),Eiki Hotta(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 誘導結合プラズマ|ヘリウムプラズマ

要約(日本語): 大気圧ヘリウム誘導結合プラズマは，その高いイオン化能力によりハロゲン元素および非金属元素に対しても有効であるために，分析用の光源やイオン源として注目されている。しかし，プラズマトーチの溶融などの問題により入力電力を大きくできないという欠点を持っている。そこで本研究では，低電力でプラズマを維持し，AM変調により数十から数kHzの高電力パルスを加える，パルス動作ヘリウム誘導結合プラズマを製作した。そして，その発光強度を分光器を用いて測定した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 88 Kバイト