高密度水素プラズマの正イオン組成測定とレート方程式による検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-215

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Measurement and Rate Equation Analysis of Ion Composition in High-Density H₂ Plasmas

著者名: 山口 弘晃(名古屋大学),佐々木 浩一(名古屋大学),門田 清(名古屋大学)

著者名(英語): Hiroaki Yamaguchi(Nagoya University),Koichi Sasaki(Nagoya University),Kiyoshi Kadota(Nagoya University)

キーワード: 正イオン組成|水素プラズマ|飛行時間型質量分析|レート方程式

要約(日本語): ヘリコン波放電によって得られる高密度水素プラズマの正イオン組成を飛行時間型質量分析器により測定し，放電条件に対する依存性を調べた。高周波電力を増加したとき，分子状正イオン(H₂⁺, H₃⁺)の組成比は減少し，H⁺の組成比は増加した。また，高周波電力が遮断された後のアフターグローにおける正イオン組成の時間変化を測定した。これらの実験に加え，簡単なレート方程式を用いた0次元モデルによりプラズマ中の粒子

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 109 Kバイト