DLC膜のプラズマによるエッジング効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-226

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Etching Effect of plasma of a DLC film

著者名: 片倉雅之 (日本大学),中森秀樹 (ナノテック),鈴木薫 (日本大学)

キーワード: エッチング|ダイヤモンド状炭素

要約(日本語): 　DLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜は超硬度、低摩擦係数、耐摩耗性、耐食性などの特徴から電子部品、磁気記録媒体、切削工具、刃物金型への幅広い分野にわたって実用されている。金型等の保護用にDLC膜を使用する場合、使用後に劣化したDLC膜のみを選択的にエッチングできれば再生が可能となり工業的に有益である。本稿ではプラズマソースパルスイオン注入(PSII)法で成膜したDLC膜を放電によるプラズマによりエッチングした結果について報告する。

原稿種別: 日本語

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