フッ素系ガスプラズマRIEによるLiNbO3結晶の加工表面評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-227

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Etching Characteristic of the LiNbO₃ Crystal by Fluorine Gas Plasma RIE

著者名: 田村 剛士(同志社大学),吉門進三 (同志社大学)

著者名(英語): Masashi Tamura(Doshisha University),Shinzo Yoshikado(Doshisha University)

キーワード: LiNbO₃|プラズマRIE|Fラジカル|AFM|XRD|結晶性

要約(日本語): CF₄，Ar，H₂，の混合気体を用いたプラズマRIE法によりLiNbO₃結晶を加工した。AFMより30～40mol%H₂を添加するとエッチング表面の表面粗さはエッチング時間に対して周期的に変化し，エッチングしていない結晶と同様の表面粗さを得ることがわかった。XRD法よりH₂を添加せずに30分エッチングを行うと結晶本来の持つ低角度側の回折ピークが失われた。一方H₂を適

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 233 Kバイト