レーザＰＶＤ法によるダイヤモンド状炭素成膜-レーザＰＶＤ法炭素プルームの光イオン化計測-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-232

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Synthesis Technique of Diamond-like Carbon Films by YAG Laser Physical Vapor Deposition Method-Photoionization measurements of laser ablation C and Si Plumes-

著者名: 相馬千里 (日本大学),工藤智彦 (日本大学),鈴木薫 (日本大学)

キーワード: レーザPVD|ダイヤモンド状炭素

要約(日本語): ダイヤモンドや、ダイヤモンド状炭素薄膜はエレクトロニクス部品の材料として注目されその薄膜の人工合成の研究が進んでいる。著者等は炭素板へのYAGレーザ照射時に発生するアブレーションプルムをイオン源として、低真空及び大気圧下でのダイヤモンド状炭素成膜を目指し長パルス幅のレーザ光を垂直照射する方法を検討している。本稿ではアブレーションプルムのメカニズムを知るために、成膜源となるアブレーションプルム内のイオンと再励起や再アブレートとの相関関係を検討するために測定したイオン化電流について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 101 Kバイト