プラズマソースパルスイオン注入法によるＤＬＣ太陽電池の創製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-233

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Synthesis Technique of Diamond-Like Carbon Solar Cell by Plasma Source Pulse Ion Implantation

著者名: 二階 大介(日本大学),吉田 仁紀(日本大学),中森 秀樹(ナノテック),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Daisuke Nikai(Graduate School of Nihon University),Yoshinori Yoshida(Graduate School of Nihon University),Hideki Nakamori(Nanotec Corporation),Kaoru Suzuki(College of Siense and Technorogy Nihon University )

キーワード: ダイヤモンド状炭素　|PSII|太陽電池|DLC

要約(日本語): ＤＬＣ(Diamond-Like Carbon)膜は超硬度、低摩擦係数、耐摩耗性、耐食性、凝着性、光学的な高透過性、アモルファス半導体などの特徴から電子部品、磁気記録媒体、切削工具、刃物、金型への成膜など幅広い分野にわたって実用されている。我々は高硬度、広バンドギャップでかつバンドギャップの制御が可能などの特徴をいかしてＰＳＰＩＩ(Plasma Source Pulse Ion Implantation)法によりＤＬＣを成膜し、それを用いたアモルファス太陽電池の創製を検討している。今回はＤＬＣ太

原稿種別: 日本語

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