電子エネルギー分布関数とラジカル組成の変化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-238

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Correlation between Electron Energy Distribution Function and Radical Composition

著者名: 堀 泰明(名古屋大学),豊田 浩孝(名古屋大学),菅井 秀郎(名古屋大学)

著者名(英語): Yasuaki Hori(Nagoya University),Hirotaka Toyoda(Nagoya University),Hideo Sugai(Nagoya University)

キーワード: 電子エネルギー分布関数|ラジカル組成|グローバルモデル

要約(日本語): プラズマプロセスにおいて、電子エネルギー分布関数(EEDF)はラジカル組成を決める重要な要因である。そこでプラズマ中のラジカル組成がsingle Maxwell分布とbi-Maxwell分布の２種類のEEDFに対してどのように変化するかをXe添加H2放電の場合に対して粒子組成計算を行った。計算方法としては直径30cm,高さ10cmの円筒形容器を想定し､定常状態におけるプラズマの電荷中性の式及び粒子バランス式より各粒子の密度解を求めた。その結果、EEDFの変化がH原子密度等に影響を与えることが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 94 Kバイト