POS動作と入射プラズマパラメータとの相関

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-244

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Correlation of POS characteristics with injected plasma parameter.

著者名: 吉村 和俊(佐賀大学),釜谷 昌樹(佐賀大学),林 信哉(佐賀大学),佐藤三郎 (佐賀大学),山部 長兵衛(佐賀大学)

著者名(英語): Kazutoshi Yoshimura(Saga University),Masaki Kamatani(Saga University),Nobuya Hayashi(Saga University),Saburoh Satoh(Saga University),Chobei Yamabe(Saga University)

キーワード: プラズマオープニングスイッチ|プラズマパラメータ|封入ガス|プラズマ源

要約(日本語): プラズマオープニングスイッチ(POS）は一般的な開放スイッチの中で最も大電流を制御でき繰り返し動作が可能であるため、誘導性パルスパワー発生装置のオープニングスイッチとして利用されてきた。しかし、その動作原理には不明な点も多い。そのため、POSスイッチ領域に入射されるプラズマのパラメータ（荷電粒子密度、入射速度、イオン種等）を把握し、それらとPOS導通、オープニング動作との相関について調べる必要がある。そこで本研究では、POS動作における負荷電流変化のチャンバー内ガス圧力および雰囲気ガス種との相関

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 225 Kバイト