プラズマフォーカス装置を用いた窒素イオンビーム発生とパルスイオン注入への応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-250

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Generation of nitrogen Ion Beam by a Plasma Focus Device　and its Application to Pulsed Ion Implantation

著者名: 塩谷 将希(富山大学),高尾 和人(富山大学),本田 武夫(富山大学),北村 岩雄(富山大学),高橋 隆一(富山大学),升方 勝己(富山大学)

著者名(英語): Masaki Shiotani(Toyama University),Kazuto Takao(Toyama University),Takeo Honda(Toyama University),Iwao Kitamura(Toyama University),Takakazu Takahashi(Toyama University),Katsumi Masugata(Toyama University)

キーワード: プラズマフォーカス|イオンビーム

要約(日本語): 本研究では、プラズマフォーカス装置から発生される窒素イオンビームをイオン注入への応用を目的とし、計測及び評価を行った。本実験には、メーザータイプのプラズマフォーカス装置を用い、封入ガスとして窒素を使用した。発生するイオン種および、エネルギースペクトルはトムソンパラボラ分析器で評価し、イオン電流密度はバイアスイオンコレクタ（BIC）で計測した。一価二価及び三価の窒素イオンの発生を確認できた。また、そのエネルギーは、1MeV～180keVの範囲に分布していた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 271 Kバイト