強誘電体を用いたマイクロプラズマ紫外光源

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-252

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Micro-Plasma UV Source by Ferroelectric Electrodes

著者名: 山野井 隆(東京工業大学),三宅 賢稔(東京工業大学),増田 敏之(東京工業大学),安岡康一 (東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Takashi Yamanoi(Tokyo Institute of Technology),Masatoshi Miyake(Tokyo Institute of Technology),Toshiyuki Masuda(Tokyo Institute of Technology),Yasuoka/Koichi (Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|強誘電体セラミックス|バリア放電|エキシマレーザ

要約(日本語): エキシマレーザは短波長の紫外領域で高効率大出力発振を得ることができ、光化学作用を使う様々な分野に応用されている。エキシマレーザとして発振させるには、光学的に均一なグロー放電を形成させ、放電空間に数MW/cm³のエネルギーを注入する必要がある。一般にバリア放電は誘電体によって電流が制限されるため、放電空間に大きなエネルギーを注入することができないが、本研究では、強誘電体セラミックスのPZTを用いたバリア放電により100A/cm²の電流を流すことに成功し、放電電極間

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 95 Kバイト