パルスレーザデポジション法における放出粒子のレーザ誘起蛍光計測装置の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-283

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): The development of laser-induced fluorescence investigation of behavior of particles ejected by laser ablation at YBCO

著者名: 吉岡 昌男(九州大学),川野 繁朗(九州大学),植田 清隆(九州大学)

著者名(英語): Masao Yoshioka(Kyushu University),Shigeo Kawano(Kyushu University),Kiyotaka Ueda(Kyushu University)

キーワード: レーザ誘起蛍光法|パルスレーザデポジション|色素レーザ|YBCO

要約(日本語): 現在、高品質の薄膜作製法としてパルスレーザデポジション(PLD)法が広く用いられている。PLD法はアブレーションの際に放出される粒子を対向する基板上に堆積させる薄膜作製法で、この粒子の挙動を把握することがより高品質の薄膜作製につながると思われる。そこで我々はレーザ誘起蛍光(LIF)法を用いて粒子の挙動を計測することを目的とし、まずはLIF計測に用いられる可変波長色素レーザの開発をし、それを用いてLIF計測を行なった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 209 Kバイト