フッ素導入ポリイミドコンデンサの湿度特性と電極の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-034

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Humidity Dependence of Fluorine introduced Polyimide Thin Film Capacitor and Electrode effect

著者名: 山下 秀聡(信州大学),伊東 栄次(信州大学),宮入 圭一(信州大学)

著者名(英語): Hideaki Yamashita(Shinshu University),Eiji Itoh(Shinshu University),Kiiti Miyairi(Shinshu University)

キーワード: フッ素導入ポリイミド|湿度センサ|周波数特性

要約(日本語): 湿度センサの応用が検討されている耐熱性に優れているポリイミドは吸水性が高く、湿度応答が遅い。そこで本研究では、ポリイミドに疎水性であるフッ素導入基を加えることにより水分の吸脱着を改善することを試みた。そして、このフッ素導入ポリイミド薄膜コンデンサの電気的特性に及ぼす湿度の影響を調査したところ容量の湿度変化が改善されたことを試した。また電極を変えることによる素子特性の改善についても検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 125 Kバイト