高分解能LIPP空間電荷分布測定装置の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-035

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Development of Space Charge Measurement Equipment for High Resolution by LIPP Method

著者名: 市川 英樹(武蔵工業大学),武藤 哲(武蔵工業大学),高田 達雄(武蔵工業大学),田中 康寛(武蔵工業大学),前野 恭(通信総合研究所)

著者名(英語): Hideki Ichikawa(Musashi Institute of Technology),Satoshi Mutou(Musashi Institute of Technology),Tatsuo Takada(Musashi Institute of Technology),Yasuhiro Tanaka(Musashi Institute of Technology),Takashi Maeno(Communications Research Laboratory)

キーワード: LIPP法|空間電荷|高分解能|誘導ノイズ

要約(日本語): 電子機器の小型化に伴い絶縁層も薄型化し印加電界も高電界化して来ている。そこに蓄積される空間電荷分布を測定する場合、レーザパルス誘起圧力波(LIPP)法は他の測定法に比べ薄い試料の測定が容易である。今回はLIPP法の弱点だったレーザ装置からの誘導ノイズ対策と高位置分解能改良を行ったので報告する。誘導ノイズ対策は、LPFを3段階に設置しシールド設置面積の最小化を施した。更に、位置分解能の向上は、信号検出系の広帯域化とアルミ電極とターゲットの薄膜化を行った。これらの改良により、電荷分布信号がノイズに埋もれること

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 103 Kバイト