LIPP法による3次元空間電荷分布測定装置の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-036

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Development of Space Charge Measurement Equipment for 3-Dimension by LIPP Method

著者名: 武藤哲 (武蔵工業大学),市川 英樹(武蔵工業大学),田中 康寛(武蔵工業大学),高田 達雄(武蔵工業大学),前野 恭(通信総合研究所)

著者名(英語): Satoshi Muto(Musashi Institute of Technology),Hideki Ichikawa(Musashi Institute of Technology),Yasuhiro Tanaka(Musashi Institute of Technology),Tatsuo Takada(Musashi Institute of Technology),Takashi Maeno(Communications Research Laboratory)

キーワード: 空間電荷|LIPP法|誘導ノイズ|デコンボリューション

要約(日本語): 空間電荷測定は、一般に試料厚さに比べ測定範囲の直径が大きく、電荷分布の平均値を測定している。そこで、測定面積を小さくしてスキャンすることで、蓄積電荷の深さ方向と面方向の分布を把握できる3次元測定が可能となる。我々はLIPP法において、ターゲットに照射するパルスレーザの径を1mm以下にし、スキャンすることで3次元測定を試みた。しかし、測定面積を小さくすると出力信号も小さくなる（1／100）ため、レーザ装置からの誘導ノイズによって、S／Nが悪くなり再現性のある測定は困難であった。そこで、ノイズ遮断シールド技

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 230 Kバイト