一元電子ビーム蒸着法を用いた硫酸鉛結晶薄膜の成長

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-155

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Epitaxy of Lead Sulfate Oxide Thin Films by Electron Beam Deposition

著者名: 大津 稔(関東学院大学),菅 禎彦(関東学院大学),安藤 信彦(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学),金子 文隆(湘南工科大学),難波 典之(関東学院大学)

著者名(英語): Minoru Ootu(Kanto-gakuin University),Yoshihiko Suga(Kanto-gakuin University),Nobuhiko Andou(Kanto-gakuin University),Tomoyasu Hiramatu(Kanto-gakuin University),Fumitaka Kaneko(Shonan Insitute of Technology),Noriyuki Nanba(Kanto-gakuin University)

キーワード: 硫酸鉛|薄膜|湿度センサ

要約(日本語): 湿度センサは水蒸気の吸着による電気的変化を利用している。そのうち母体制御型湿度センサは新しい特性を利用するセンサとして期待されおり、硫酸鉛はその組成による疎水性と親水性を利用した母体制御型の感湿メカニズムを持つとされている。この硫酸鉛を薄膜結晶化された例は未だ無い。そこで湿度センサへの応用、さらにはICプレーナ技術による素子の小型化を視野に入れ一元電子ビーム蒸着法を用いて薄膜結晶化を試みたのでその結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 403 Kバイト