ゾル・ゲル法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の分極疲労特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-157

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Polarization Fatigue Mechanism of Pb(Zr,Ti)O₃ Thin Films Prepared by Sol-Gel Method

著者名: 田中 力(八戸工業大学),柿本 健一(八戸工業大学),掛本博文 (八戸工業大学),馬場 明(八戸工業大学),藤田 成隆(八戸工業大学),増田 陽一郎(八戸工業大学)

著者名(英語): Tikara Tanaka(Hachinohe Institute of Technology),Ken-ichi Kakimoto(Hachinohe Institute of Technology),Hirofumi Kakemoto(Hachinohe Institute of Technology),Akira Baba(Hachinohe Institute of Technology),Shigetaka Fujita(Hachinohe Institute of Technology),Yoichiro Masuda(Hachinohe Institute of Technology)

キーワード: 強誘電体薄膜|ゾルゲル法|分極疲労|強誘電体ドメイン|D?Eヒステリシスループ

要約(日本語): Sol-gel法により、Pb(Zr,Ti)O₃(PZT)前駆体溶液をPt/SiO₂/Si(100)基板上にスピンコートし、酸素雰囲気下でRapid Thermal Annealing(RTA)処理を行い、PZT薄膜を作製した。XRDの結果、RTA温度(T_max)に依存して結晶性が変化することが分かった。一例として、T_max=600℃で作製されたPZT薄膜の強誘電体特性を評価したところ、D-E

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 444 Kバイト