液相中で堆積したDLC薄膜の評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-158

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Characterization of diamond-like carbon films deposited in liquid phase

著者名: 橋本 雄一(キャノン),上野 和則(キャノン),鎌村 実(中央大学),榊原 剛(中央大学),赤木 正宣(中央大学),遠藤 正雄(中央大学)

著者名(英語): Yuuichi Hashimoto(CANON INC),Kazunori Ueno(CANON INC),Minoru Kamamura(Chuo University),Takeshi Sakakibara(Chuo University),Masanobu Akagi(Chuo University),Masao Endo(Chuo University)

キーワード: DLC薄膜

要約(日本語): 最近、DLC薄膜はFED（Field Emission Display）に応用できる新しい電子放出材料として注目され、主に気相合成法により作製が試みられている。本研究では、新たな合成法の試みとして電気分解法による有機溶液中でのDLC薄膜の液相合成を行っている。ここでは、電解液としてメタノール溶液を用い堆積した薄膜をAFM、ラマン分光、電界電子放出特性より評価し、報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 287 Kバイト