表面波プラズマ生成アモルファスカーボン膜の膜特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-162

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Characteristics of Amorphous Carbon Films Prepared with Surface Wave Plasma

著者名: 永津 雅章(名古屋大学),佐野 徹(名古屋大学),高田 昇治(名古屋大学),豊田 直樹(ニッシン),菅井 秀郎(名古屋大学)

著者名(英語): Masaaki Nagatsu(Nagoya University),Toru Sano(Nagoya University),Noriharu Takada(Nagoya University),Naoki Toyoda(Nissin Inc.),Hideo Sugai(Nagoya University)

キーワード: アモルファスカーボン膜|表面波プラズマ|電界電子放出|フラットパネルディスプレー|プラズマCVD

要約(日本語): プラズマＣＶＤによる低温形成が可能なダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜のフィールドエミッションディスプレー用電子エミッター源への応用が注目されている。最近では、水素を含むアモルファスカーボン(a-C:H)膜についても、その電界電子放出特性が注目され、電子放出機構の解明や放出効率改善に関する研究も行われている。本研究では低圧下において高密度プラズマ生成が可能な大面積表面波プラズマをa-C:H 膜生成に適用し、生成された膜組成および電界電子放出特性を調べることを目的としている。本発表では直径40cm、高さ

原稿種別: 日本語

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