100μm長に小形化した高周波キャリア型薄膜磁界センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-214

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): High-Frequency Carrier-Type Thin-Film Magnetic Field Sensor with 100μm long

著者名: 菊池 弘昭(東北大学),杉本 聡志(東北大学),山口 正洋(東北大学),荒井 賢一(東北大学)

著者名(英語): Kikuchi Hiroaki(Tohoku University),Sugimoto Satoshi(Tohoku University),Yamaguchi Masahiro(Tohoku University),Arai Ken-Ichi(Tohoku University)

キーワード: 高周波キャリア型薄膜磁界センサ|高空間分解能|小形化

要約(日本語): 磁気マーカを用いたモーションキャプチャシステムの磁界検出部やLSI配線等から生じる近傍磁界を計測する磁界プローブには、高い空間分解能を有することが望まれる。高い空間分解能を実現するためには磁界検出部の小形化が必須である。そこで、筆者らは高周波キャリア型薄膜磁界センサのさらなる小形化について検討した。本報告では、微細加工により幅3-10μmで素子長100μmのセンサ素子を試作し、その基礎特性について検討した。その結果、センサ素子の外部磁界に対するインピーダンス変化を実証でき、キャリア周波数700MHzでイン

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 123 Kバイト