磁性膜への直接通電による高周波透磁率計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-215

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): High frequency permeability measurement

著者名: 薮上 信(東北大学),小島 亮(東北学院大学),山口 正洋(東北大学),荒井 賢一(東北大学),菊地 新喜(東北学院大学)

著者名(英語): Shin Yabukami(Tohoku University),Ryo Ojima(Tohoku Gakuin University),Masahiro Yamaguchi(Tohoku University),Ken-ichi Arai(Tohoku University),Shinki Kikuchi(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 磁性薄膜|透磁率|直接通電

要約(日本語): 短冊磁性薄膜に高周波電流を通電した場合の磁界分布を有限要素法解析により求めた。これにより本手法により通電電流に直交する方向で薄膜面内成分の透磁率が短冊薄膜の透磁率に反映されること、および短冊薄膜端部における漏れ磁束は十分小さいことを示した。この解析に基づき短冊磁性薄膜の透磁率を本手法と従来の非接触による方法により求めて比較し、本手法の高感度計測を示した。さらに簡便に計測するため、ウエハプローブにより磁性薄膜に接触させても透磁率が計測できることを示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 130 Kバイト