片面磁性膜付与4端子型集積化薄膜インダクタの電気的特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-218

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Electrical characteristic of 4 terminal type integrated thin film inductor with a magnetic film

著者名: 茂泉 孝(東北学院大学),栗原 崇(東北大学),山口 正洋(東北大学),荒井 賢一(東北大学),芳賀 昭(東北学院大学),田邉 信二(三菱電機),伊東 健治(三菱電機)

著者名(英語): Takashi Moizumi(Tohoku Gakuin University),Takashi Kuribara(Tohoku University),Masahiro Yamaguchi(Tohoku University),Kenichi Arai(Tohoku University),Akira Haga(Tohoku Gakuin University),Shinji Tanabe(Mitsubishi Electric Corporation),Kenji Itoh(Mitsubishi Electric Corporation)

キーワード: 薄膜インダクタ|RF集積回路|CoNbZr薄膜|コプレーナ線路

要約(日本語): 集積化インダクタは携帯機器用MMICにおいて、インピーダンスマッチング等の目的で使用され、小形化と低損失化が必要とされている。我々は、この要求に応えるべくGHz帯駆動集積化インダクタに磁性薄膜を適用し、単位面積当たりのLを増加させると同時に、磁束を磁性膜に集中させ、磁界による基板内での渦電流損失の低減を考えている。磁性膜はGHｚ帯で低損失の必要がある。実装状態における集積化インダクタ動作時の電気的特性の評価は地導体面の電流を考慮に入れる必要があり、このため透過法測定が必要となる。本稿では透過法測定によるイ

原稿種別: 日本語

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