サンドイッチ型RF集積化インダクタの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-219

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Microfabrication of sandwich type RF integrated inductor

著者名: 馬場誠 (東北大学),栗原崇 (東北大学),山口正洋 (東北大学),荒井賢一 (東北大学)

キーワード: 薄膜インダクタ|RF集積回路|CoNbZr薄膜|微細パターン|サンドイッチ型

要約(日本語): これまで我々は、スパイラルコイル上に磁性膜を1層積層する構造のインダクタにおいて、1GHzでのインダクタンス7.6nH（同形状の空心に比べて12％増加），Q=7.1（同じく9％向上）という結果を得ている。IMT-2000により携帯電話の使用周波数はこれまでの800MHz帯から2GHz帯となり、インダクタのさらなる高Q化、小形化の要求に応えるためスパイラルコイルの上下に磁性膜を1層ずつ積層するサンドイッチ型RF集積化インダクタの試作を行った。これにより、2GHzにおいてインダクタンスは同形状の空心に比べて1

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 206 Kバイト