GaAsマイクロ太陽電池の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-012

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): A GaAs Micro Solar Cell with Output Voltage over 20V

著者名: 樋江井仁貴 (豊田工業大学),大澤 潤(豊田工業大学),土田縫夫 (豊田工業大学),早川 聡一郎(豊田工業大学)

著者名(英語): yoshiki hiei(Toyota Technological Institute),Jun Ohsawa(Toyota Technological Institute),Nuio Tsuchida(Toyota Technological Institute),Soichiro Hayakawa(Toyota Technological Institute)

キーワード: 太陽電池|ガリウムひ素|マイクロマシン|ウエハプロセス

要約(日本語): マイクロマシンを始めとする微小デバイスへの応用を目的に，ミリサイズで高電圧を発生する太陽電池の開発を行っている．半絶縁性GaAs基板上にｐ層，ｎ層を気相結晶成長したウェハを用い，160μm×150μmのメサ領域を形成して１つの太陽電池セルとする．このセルを平面的に24個直列接続することにより，20Ｖ以上の開放電圧を得た．凹凸のあるウエハ上での絶縁膜や配線の形成はプロセス上困難であるが，今回は特に，リフトオフ法によるAuGe/Ni/Auのｎ形電極形成に成功したため，電極部の接触抵抗ひいてはデバイス全体の直列

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 88 Kバイト