エキシマレーザ用コロナ予備電離の評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-018

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Estimation of Corona Preionization for Excimer laser

著者名: 福田 建悟(佐賀大学),林 信哉(佐賀大学),佐藤三郎 (佐賀大学),山部長兵衛 (佐賀大学)

著者名(英語): Fukuda Kengo(Saga Unibersity),Hayashi Nobuya(Saga Unibersity),Satoh Saburoh(Saga Unibersity),Yamabei Chobei(Saga Unibersity)

キーワード: エキシマレーザ|光リソグラフィ|コロナ予備電離|回転角|紫外光

要約(日本語): レーザ励起放電の安定性は、エキシマレーザの安定性と密接な関係にある。そして、安定な励起放電を得るためには、均一な予備電離を行うことが必要不可欠である。本研究では、コロナ予備電離の高効率化をめざし、今まで充分に明らかにされていなかった印加電圧の波形や極性、電極形状等に対するコロナ放電の詳しい特性を測定している。そこで、今回の報告ではコロナ放電の基礎研究として、放電発生部の形状を変えることにより、荷電粒子密度がどのような変化をするか測定し、検討を行った。また、ICCDカメラによる放電の撮影も行い、荷電粒子密度

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 308 Kバイト