石英ルツボ作製時の熱分布シミュレーション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-068

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Heat Distribution Simulation in the Quartz Crucible

著者名: 安保優樹 (秋田大学),鈴木 雅史(秋田大学),吉村 昇(秋田大学),辻 義行(三菱マテリアルクオーツ)

著者名(英語): Yuki Anbo(AKITA University),Masafumi Suzuki(AKITA University),Noboru Yoshimura(AKITA University),Yoshiyuki Tsuji(Mitsubishi Materials Quartz)

キーワード: 熱処理|シミュレーション|石英ルツボ|温度分布

要約(日本語): シリコンウェハ作成時に容器として用いられる石英ルツボには、内表面近傍の気泡が単結晶化を阻害する事から気泡の少ないことが求められている。この気泡は、製造過程において熱源からの加熱が不均一であることが原因で生じるため、均等な熱分布を得ることが重要である。本論文ではモンテカルロ法と差分法により、ルツボ表面の加熱および外型との熱伝導によるルツボ内部の時間的温度変化を求め、外型の初期温度が熱分布に与える影響を検討した。その結果、型の残存熱は短時間で石英層全体に平均的に分散しており、熱分布の不均一性の原因となる可能性

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 117 Kバイト