三次元振動台による加速度センサの動特性の評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-120

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Characterization of accelerometers using three-dimensional vibration generator

著者名: 梅田章(計量研究所),飯岡比呂志(IMV),土井智晴(大阪府立工業高等専門学校),福島武博(IMV)

著者名(英語): akira umeda(National Research Laboratory of Metrology),hiroshi iioka(IMV corporation),tommoharu doi(Osaka Prefectural College of technology)

キーワード: 三次元加速度センサ|振動加速度|衝撃加速度|レーザ干渉計|フィードフォワード制御|フィードバック制御

要約(日本語): 半導体三次元加速度センサに対して、加速度センサの校正もしくは特性評価技術を、ベクトルとしての加速度で行わなければいけなくなっているが、現状はそこからは程遠い。本報告では、試験機として開発された三次元振動台とレーザ干渉計を用いて三次元加速度センサを、正弦波加速度、パルス加速度で校正した結果について述べる。正弦波加振により、横感度の周波数特性を計測することが可能であること、パルス加振での校正では、横方向の制振が、感度校正に大きな影響をあたえることを示す。さらに、本三次元振動台の水平方向振動を制御で

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 224 Kバイト