平行平板構造を用いた吊り下げ型角速度センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-121

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Dangler Type Vibrating Gyroscope Using the Parallel Beam Structure

著者名: 佐藤 宏司(名古屋大学),新井 史人(名古屋大学),福田 敏男(名古屋大学),糸魚川 貢一(東海理化),塚原 靖典(東海理化)

著者名(英語): SATO Hiroshi(Nagoya University),ARAI Fumihito(Nagoya University),FUKUDA Toshio(Nagoya University),Itoigawa Kouichi(Tokai Rika Co.,LTD.),Yasunori Tsukahara(Tokai Rika Co.,LTD.)

キーワード: 振動型ジャイロセンサ|平行平板構造|プレス加工|水熱合成法|PZT薄膜

要約(日本語): 我々の提案した平行平板型ジャイロセンサは構造が複雑で機械切削時の加工精度、圧電材の張り合わせ誤差などによる漏れ振動の増大、及び作製コストの面で問題があった。本論文ではこの問題に対して、機械切削による平行平板構造の作製の代りにプレス加工による構造の作製、上部の構造を下部の中に折り込むことによる構造の小型化及びモーメントの影響の軽減、4枚の圧電材の張り合わせの代りに水熱合成法による圧電材料の一括製膜を行い、切削加工による加工誤差や圧電材の張り合わせ位置のずれの影響を軽減し、量産性に適した振動型

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 628 Kバイト