水晶圧電ジャイロのFEM解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-122

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Finite Elememnt Method Analysis of Quartz Gyroscope

著者名: 大村 義輝(豊田中央研究所),森川 健志(豊田中央研究所),藤吉 基弘(豊田中央研究所),野々村 裕(豊田中央研究所),塚田 厚志(豊田中央研究所),森本 泰生(トヨタ自動車)

著者名(英語): Yoshiteru Omura(Toyota central R&D Labs.,Inc.),Takeshi Morikawa(Toyota central R&D Labs.,Inc.),Motohiro Fujiyoshi(Toyota central R&D Labs.,Inc.),Yutaka Nonomura(Toyota central R&D Labs.,Inc.),Kouji Tsukada(Toyota central R&D Labs.,Inc.),Yasuo Morimoto(Toyota Motor Corporation)

キーワード: 有限要素法|ジャイロスコープ|水晶|エッチング|振動

要約(日本語): 　圧電ジャイロの開発において、ゼロ点出力の低減は重要な技術課題である。ふっ化アンモニウム混液で水晶基板をエッチングした時に、結晶癖に起因して音叉の側壁が非対称な五角形状となっていることが判明した。振動子形状の非対称性が励振時の検出方向振動の発生要因であると推定し、FEMの周波数応答解析により同振動成分を解析した。解析モデルは、五角形断面の頂点をシフトさせた音叉型を基本とした。離調率は１％とした。　検出方向の振動振幅には２箇所のピークが見られ、その大きさは励振振幅の25％に達した。一方、非対称性のない場合

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 299 Kバイト