PZT薄膜を用いた超音波マイクロアレイセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-126

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Ultrasonice Micro Array Sensor Using PZT Thin Film

著者名: 山下馨 (大阪府SEISプロジェクト),堅田広司 (大阪府SEISプロジェクト),福永寿朗 (大阪府SEISプロジェクト),奥山雅則 (大阪府SEISプロジェクト),三好弘巳 (大阪府SEISプロジェクト),加藤元郎 (大阪府SEISプロジェクト),青柳誠司 (大阪府SEISプロジェクト),鈴木義彦 (大阪府SEISプロジェクト)

キーワード: 超音波|アレイセンサ|マイクロマシニング|PZT薄膜

要約(日本語): PZT薄膜とシリコンマイクロマシニングを用いて圧電型のマイクロ超音波アレイセンサを作製した。視覚障害者補助や配管内検査ロボット搭載等のために、空中での使用と超音波伝達距離および許されるチップサイズを基に設計し、100-200kHzで使用する18素子のアレイセンサをシリコンチップ上直径9.3mm内に配置した。圧電層にゾルゲルPZT薄膜を用いた。アレイの指向性はメインローブ半値幅は15.9度を得た。また共振点での単素子の感度は最高で-39.5dBとなった。さらにセンサを縦横にスキャンして、超音波伝搬時間による

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 270 Kバイト