ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータのステータの振動計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-129

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Vibration of a Stator of an Ultrasonic Motor Observed by Stroboscopic Phase-shift Interferometry

著者名: 山本 勉(愛知工業大学),川根 祐輔(愛知工業大学),鳥井 昭宏(愛知工業大学),植田 明照(愛知工業大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Tsutomu Yamamoto(Aichi Institute of Technology),Yuusuke Kawane(Aichi Institute of Technology),Akihiro Torii(Aichi Institute of Technology),Akiteru Ueda(Aichi Institute of Technology),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: ストロボ法|位相シフト干渉法|超音波モータ

要約(日本語): マイクロマシン技術の発達により、振動型デバイスの性能は飛躍的に進歩した。それに伴いマイクロメートル以下の微小かつ、キロヘルツ以上の高速な振動の可視化が必要になった。そこで半導体レーザを短時間照射して計測を行うストロボ位相シフト干渉法が提案された。本稿では、ストロボ位相シフト干渉法を用いて超音波モータのステータ表面の振動分布計測を行い、振動時のステータ表面の状態変化について検討する。計測結果として、振動分布を干渉位相画像として得ることができた。使用した超音波モータのステータは凸状形状をしており、最高点が振動

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 166 Kバイト