プラズマ有機薄膜を分子認識膜に用いた水晶振動子式ガスセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-147

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Gas Sensor Using Quartz Resonator Coated with Plasma-polymerized-film as the Molecular Recognition Membrane

著者名: 南戸 秀仁(金沢工業大学),真田 尚治(金沢工業大学),浜口 佑樹(金沢工業大学),信山 健次(金沢工業大学),草野 英二(金沢工業大学),金原 粲(金沢工業大学),黒澤 茂(物質工学工業技術研究所),大藪 多可志(金沢経済大学)

著者名(英語): Hidehito Nanto(Adv.Mat.Sci.R&D Center,Kanazawa Inst.of Tech),Syouji Sanada(Adv.Mat.Sci.R&D Center,Kanazawa Inst.of Tech),Yuuki Hamaguchi(Adv.Mat.Sci.R&D Center,Kanazawa Inst.of Tech),Kenji Nobuyama(Adv.Mat.Sci.R&D Center,Kanazawa Inst.of Tech),Eiji Kusano(Adv.Mat.Sci.R&D Center,Kanazawa Inst.of Tech),Akira Kinbara(Adv.Mat.Sci.R&D Center,Kanazawa Inst.of Tech),Sigeru Kurosawa(National Institude of Materials and Chemical Research),Takasi Ooyabu(Kanazawa University of Economics)

キーワード: 水晶振動子|分子認識膜|プラズマ重合

要約(日本語): 水晶振動子式ガスセンサは、ガス分子を識別する目的で、水晶振動子の電極上に分子認識膜を塗布して作成する。本報告では、分子認識膜材料として約３０種類の有機材料を選定し、それらをプラズマCVD法により堆積させた水晶振動子式ガスセンサを作成し、種種のガスに対する応答を測定した。その結果、アクリル酸系薄膜を分子認識膜に用いたセンサが、アンモニアガス、アセトアルデヒドガスあるいは酢酸に優れた選択性を示すことがわかった。当日は、これらの結果について講演する。

原稿種別: 日本語

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