プラズマプロセスによるNOxガスセンサ用薄膜の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-148

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Preparation of NOx gas sensor films by plasma processing

著者名: 須田義昭 (佐世保工業高等専門学校),川崎仁晴 (佐世保工業高等専門学校),難波潤 (佐世保工業高等専門学校),和田憲治 (佐世保工業高等専門学校)

キーワード: ガスセンサ|プラズマプロセス|NOx|薄膜

要約(日本語): 高周波マグネトロンスパッタリング法を用いて、NOx薄膜を作製し、その作動温度依存性を測定した。その結果、P_O2 =0.75Pa, P_Ar =0.25Paの場合に作動温度400℃でNO₂ガス検知感度5.8が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 122 Kバイト